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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > > INFICON檢漏儀 > UL1000FabINFICON 干式氦質(zhì)譜檢漏儀
簡要描述：i通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了的性價(jià)比。它提供 10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)。緊湊的設(shè)計(jì)提供了高度的機(jī)動(dòng)性，方便進(jìn)入空間有限的維修區(qū)域。可選的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)低于現(xiàn)有背景水平狀態(tài)持續(xù)進(jìn)行泄漏測試。
產(chǎn)品型號(hào)：UL1000Fab廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-11-19訪 問 量：9448產(chǎn)品資料：查看pdf文檔產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
| 品牌 | Inficon/英福康 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
UL1000Fab干式氦質(zhì)譜檢漏儀 的詳細(xì)介紹
INFICON UL1000 Fab干式氦質(zhì)譜檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab干式氦質(zhì)譜檢漏儀在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。
通過結(jié)合較高氦氣吸氣能力和高進(jìn)氣口壓力的*真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab干式氦質(zhì)譜檢漏儀提供的*的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL（智能泄漏率計(jì)算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長反應(yīng)時(shí)間的煩惱，因?yàn)?/span> UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 843，方法 1014）。
15 級(jí)的寬測量范圍
較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
移動(dòng)式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供zui快的泄漏響應(yīng)時(shí)間
抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正，可提供快速、可靠的測試結(jié)果
含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)，提供較高氦氣吸氣能力和高壓縮比
旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行測試
通過電子郵件進(jìn)行軟件更新
含兩個(gè)燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果
對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
需要較高吸氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測漏"功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測試
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