闡述檢漏儀在電弧爐真空系統中的連接

檢漏儀檢漏口的位置通常可以連接在圖1 中虛線A 或B 的位置，因為這兩處均能達到檢漏儀檢漏口小于1000 Pa 的工作要求，對于粗檢兩個位置都能夠達到要求，但對于系統的小漏，位置的選擇則相當關鍵，對于核級鋯鑄錠的生產來說，當漏率介于0.65~1.5 Pa/min 時更要注意位置的選擇。主要原因是由于：該型號的檢漏儀分為檢測大漏、中漏和微漏，當檢漏口14的壓強100 PaPa<Pa<1000 Pa 時檢漏儀V1 和V2打開，氦氣部分分子沿分子泵排氣口逆流進入質譜室，因此只有當氦氣分子較多時才能被檢測到；當壓強10 Pa<Pa<100 Pa 時，檢漏儀關閉V2，打開V3，V1 閥，此時氦氣分子較多沿4 處分子泵進氣口1 逆流進入質譜室中，可以檢測到系統的中漏；當Pa <10 Pa 時，檢漏儀關閉V3，打來V4、V1 閥，此時氦氣分子大部分沿15 處分子泵進氣口2 逆流進入質譜室中，達到檢測微漏的效果。

 

　　由于在正常工作時機械泵進氣口A 處的真空度受管道氣密性及泵本身的抽空能力等因素的影響，通常真空度可能在20~200 Pa 的范圍內，因此真空技術網(http:///)認為對于檢測中漏來說，有可能導致檢漏儀的V3 閥無法打開，使得中漏的部分漏孔無法檢測出來，這也是為什么在現場檢漏過程中有時無法檢測出漏點的主要原因。

 

　　小羅茨泵進氣口B 處實際上是機械泵與羅茨泵在聯合抽空，真空度通常保證在10~30 Pa 范圍內，能夠保證檢漏儀在中漏的范圍內進行工作，即氦氣從4 或15 處逆流進入質譜室中，保證檢漏儀的穩定可靠工作。