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        瑞士inficon電容式膜片真空計的優點與應用
        
    
        更新時間：2016-09-26      點擊次數：1949
        
    
        
    	 瑞士inficon電容式膜片真空計的優點與應用
         
        擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
        易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
        輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
        診斷端口用于快速維修和維護
        兩年保修服務，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
        的信號穩定性和可重復性，即使是zui苛刻的等離子應用，都無需長期執行重新校準
        合規性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
         
        典型應用
        用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
        化學和腐蝕性高溫過程
        需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
        
    
        
    
        
    	
    
        

        




        
	
        
		
		
        
        
        	
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