渦輪分子泵的使用和維護

渦輪分子的使用和維護

 一、總體安裝注意：

1.安裝前應檢查分子泵運輸中是否損壞。

2.打開泵高真空端法蘭蓋板，波動渦輪轉子，應轉動靈活，無異常現象。

3、安裝環境應符合技術要求和真空衛生要求。

4、確認防護網已安裝，特殊情況下做特殊防護網。

5、確認已裝入潤滑油。

6、安裝方向：油繩潤滑：豎直、水平;油潤滑：豎直方向+/-5;潤脂油：任意角度

二、油池安裝

1、拆下注油

2、油量控制

3、油池衛生、防顆粒。

4、對好、對稱上緊螺釘。

5、防止有漏，減少“油黑”

三、進出口法蘭、冷卻水安裝

1、泵入口：對正附件、對稱擰緊

2、泵出口：防止錯位

3、冷卻水：無漏水

四、電纜安裝

1.對正槽口插入

2、用螺母擰緊，邊插邊擰

3、檢查到位

五、分子泵啟動

1、啟動條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤滑、真空度

2、啟動時間

   同時啟動—小系統，防前級泵油上返

   延遲啟動—系統容積過大，先啟動前級泵，至系統壓強P=200Pa，啟動分子泵。

六、振動隔離、沖擊防護

1、分子泵振動極小，可直接接于被抽系統。

2、沖擊防護：高速旋轉、間隙很小、柔性支撐

   機械振動（預抽泵、前級泵、機械動作等）

   氣體振動（氣量突變、壓強突變）

   意外振動（掉入異物，碰撞等）

七：大氣載、熱氣體、突變七載

引起問題：1、溫度過高   2、動靜片變形 3、轉子上移4、潤滑失效5、軸承失效

解決方法：1、加大水冷   2、縮短換油時間

八、泵不啟動

   原因有：1、電源故障、可參照電源說明書

           2、連接電纜不通，用電表查連接電纜，并檢查和使插座接觸良好。

九、長時間啟動仍達不到額定轉速或停轉

原因：1、系統有漏2、前級壓強過高3、轉向有誤4、潤滑油失效5、軸承損壞

十、大的振動和噪聲

原因和解決方法：

1、潤滑油污染或潤滑油不足

2、共振：應改變裝配位置及連接尺寸，并使活動件固定或加減振橡膠墊

3、動平衡破壞：單獨對泵進行試轉，振動、噪聲仍很大應送回返修。

4、軸承損壞：檢查轉子轉動是否靈活，有無重滯現象，軸承損壞應返修，更換軸承。

十一、真空度低

1、前級漏氣2、前級泵太小3、高真空漏4、規管出氣量大5、前幾真空泵工作不正常